在众多的仪器中，测振仪是振动检测时最常用的仪器，它主要用来测量数控机床主轴、电动机的运行情况，有时候也可以测量整机的运行状况。测振仪将测振传感器输出的微弱信号放大、变换、检波后，在显示屏上直接显示被测设备的振动值大小，十分方便。
激光干涉仪可以对数控机床进行精度校正，完成各项参数的测量，除此之外，它还有一些选择功能，如自动螺距误差补偿、触发脉冲输入输出功能、回转坐标分度精度标定等等。
红外测温仪也是一种常用的检测工具，主要用于检测数控机床中容易发热的部件，如功率模块、主轴轴承等。
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